MEMS kısa adıyla bilinen, Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler şeklinde tanımlanan teknoloji, mikroelektronik veya mikroçip teknolojisi gibi çağımızı değiştirecek bir potansiyele sahiptir. Bu teknoloji sayesinde mikroçipler üzerinde sadece mikroelektronik entegre devreler değil, mikromekanik yapılar da yapılabilmektedir. Böylece akıllı sistemlerin, Nesnelerin İnterneti ve Endüstri 4.0 gibi yeni konuların önünü açan mikrosensörler, elektronik devre ile beraber bir çip içinde yapılabilmekte, yani sistem fiyatı ve boyutları çip kadar ucuz ve çip kadar küçük olabilmektedir. MEMS teknolojisinin, kritik savunma sanayii uygulamalarının yanı sıra otomotiv, biyomedikal, telekomünikasyon, beyaz eşya ve bilişim teknolojileri gibi birçok konuda yaygın uygulaması vardır. Mikroelektronik nasıl çağımızı etkilediyse ve yaşantımızı değiştirdiyse, MEMS teknolojisinin de 21. Yüzyıl’ı benzer şekilde etkileyeceği düşünülmektedir.

    Ülkemizde MEMS konusundaki ilk çalışmalar 1995 yılında ODTÜ’de başlamıştır.  ODTÜ’de yürütülen araştırma ve geliştirme faaliyetleri, 2008 yılında kurulan Mikro-Elektro-MekanikAraştırma ve Uygulama Merkezi ile birlikte kurumsal bir kimlik kazanmıştır. Ulusal ve uluslararası düzeyde pek çok projede yer alan ODTÜ MEMS Merkezi, 6550 sayılı Araştırma Altyapılarının Desteklenmesine Dair Kanun kapsamında, 16 Ağustos 2017 tarihinde yeterlik alarak, tüzel kişilik kazanmıştır.

ODTÜ MEMS, bilimsel araştırma faaliyetlerinin yanı sıra araştırmalar sonucunda elde edilen çıktıların ürüne dönüştürülmesi, ülkemize katma değer getirecek ileri teknoloji ürünlerin geliştirilmesi çalışmalarına devam etmektedir.